Parylene是上世纪六十年代中期美国Union Carbide公司开发的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二甲苯聚合物，由分子结构的不同，可分为N型、C型、D型、HT型等。每种类型都具有不同的特性，要根据具体应用的确切性质选出最适宜的Parylen的种类。它可以涂敷到各种形状的表面，在盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中显示了很好的隔离防护功能。

Parylene性质：
这种涂层逐渐形成一种均衡的、共形的薄膜，均匀覆盖暴露在外的基底表层的边角。Parylene的沉积不会产生液相或气相的副产品，无需溶剂及其他受环保要求所限制的材料。Parylene的其他性质还包括：
·Parylene具有实用的绝缘和屏障特性，同时具有极端的化学惰性，不受针孔的困扰。它能防有机溶剂、防无机试剂且防酸。由于Parylene在整个过程中的任何阶段都不会呈现液态，因而它不会聚集、桥接或者因为虹吸作用而产生液面弯曲。
·由于自身很薄，Parylene的机械减震和负载特性极小。这种材料可以涂抹在许多种基底的表面。这些基底包括玻璃、金属、纸张、树脂、塑料、陶瓷、铁氧体，甚至人造橡胶以及粉末状与颗粒状物质等。
·Parylene的静态和动态摩擦系数在0.25~0.33之间，其干膜的光滑程度对涂层材料的某些应用来说是一个重要的属性。
Parylene材料的应用：
Parylene能在0.2μm厚时无针孔，5μm厚时耐1000V以上直流击穿电压，同时又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能优异。因此，在微电子机械系统中，Parylene除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

Parylene N   聚对二甲苯，具有较强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时具有较佳的润滑效果，主要用于橡胶、光学领域。

Parylene C   在芳烃上一个氢被氯原子取代，具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比N型快得多，是目前应用广、防护效果好的粉材。

Parylene D  在芳烃上二个氢被二个氯原子取代，具有阻燃性。在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、C型相比，具有更好的热稳定性。

Parylene F  是苯环上的4个氢原子被氟取代，与C,N,D比较，其薄膜的介电强度高、介电常数低(即透波性能好)，热稳定性好。薄膜本身连续、致密、无针孔,短期耐温可达450摄氏度，长期耐温可达350摄氏度,并具有强的抗紫外线能力，更适合作为高频微波器件的防护材料。

PARYLENE涂层特性表

阻隔特性

Parylene 气体和潮湿的隔离性

物理特性

Parylene的物理和机械性能表

电学特性

热稳定性

Parylene的热特性